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當前位置:首頁產品中心光譜共聚焦傳感器90°側出光光譜共焦探頭LTCR1500N納米級激光傳感器

納米級激光傳感器

產品簡介

LTCR1500N納米級激光傳感器采用 90°側向光路 與 納米級標定技術,突破傳統傳感器空間與精度極限。其以 ±0.5mm超窄量程 與 Φ5μm亞微米光斑 為核心,為半導體封裝、精密醫療器械、微型電子元件等領域的隱蔽空間檢測提供納米級非接觸式測量方案,重新定義微孔檢測標準。

產品型號:LTCR1500N
更新時間:2025-05-13
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產品名稱:LTCR1500N 光譜共焦位移傳感器
品牌:無錫泓川科技
型號:LTCR1500N(側向出光納米級深孔檢測型)

泓川科技4mm直徑徑向出光的光譜共焦傳感器

泓川科技4mm直徑徑向出光的光譜共焦傳感器


產品概述

LTCR1500N是無錫泓川科技專為納米級深孔、小腔體及高精度內壁檢測升級研發的側向出光光譜共焦傳感器,采用 90°側向光路納米級標定技術,突破傳統傳感器空間與精度極限。其以 ±0.5mm超窄量程Φ5μm亞微米光斑 為核心,為半導體封裝、精密醫療器械、微型電子元件等領域的隱蔽空間檢測提供納米級非接觸式測量方案,重新定義微孔檢測標準。


納米級激光傳感器的核心優勢

  1. 納米級精度與側向光路

    • 線性誤差 <±0.15μm,靜態噪聲低至 30nm,聚焦光斑直徑 Φ5μm,精準捕捉內壁納米級劃痕、鍍層缺陷。

    • 90°垂直出光,適配孔徑低至 φ1.0mm,直擊微型噴嘴、芯片通孔等傳統傳感器盲區。

  2. 超微型工業設計

    • 探頭尺寸僅 φ2.5×18mm(含側向出光口),重量 5g,全球zui輕量化側向探頭,輕松嵌入高密度集成設備。

    • 全鈦合金密封外殼,IP68防護等級,抗腐蝕、耐高壓沖洗,適配潔凈室與生化檢測場景。

  3. 智能溫控與抗干擾

    • 內置 雙通道溫度補償系統,工作溫度 -20°C ~ +60°C,極duan溫差下精度波動 <±0.05μm

    • 抗環境光、電磁干擾,通過 IEC 61326工業EMC認證,滿足半導體產線嚴苛要求。

  4. 高速動態響應

    • 采樣速率 30kHz,支持微米級高速旋轉工件(如微型軸承、精密齒輪)的實時在線檢測。

  5. AI賦能缺陷識別

    • 集成 AI微孔分析算法,實時識別內壁毛刺、堵塞、鍍層不均,誤報率 <0.005%


納米級激光傳感器技術參數

參數 指標
測量范圍 ±0.75mm
參考距離 1.5mm
光斑直徑(聚焦型) Φ5μm
線性誤差 <±0.15μm
靜態噪聲 30nm
測量角度 ±8°(側向)
最小適配孔徑 φ5.0mm
采樣速率 最高30kHz
防護等級 IP68
工作溫度 -20°C ~ +60°C (可定制200℃高溫版本)
接口支持 USB/萬兆以太網/EtherCAT/光纖

典型應用場景

  • 半導體封裝:芯片TSV通孔深度檢測、晶圓切割刀內冷卻孔形貌分析。

  • 醫療器械:手術針內壁光潔度檢測、納米級藥物輸送微孔直徑測量。

  • 3C電子:TWS耳機聲學腔體掃描、微型連接器鍍層厚度在線監測。

  • 精密加工:燃油噴嘴微孔堵塞檢測、光學透鏡微結構內壁輪廓重建。

  • 科研領域:MEMS器件微通道檢測、納米材料孔隙率分析。


納米級激光傳感器配套系統

  • 納米級多軸控制器:支持8通道同步測量(最高10kHz),集成 AI邊緣計算模塊3D納米云圖軟件,一鍵生成亞微米級內壁三維模型。

  • 全球定制化服務:可選配 真空腔體適配探頭超長柔性光纖(20m)防靜電版本(ESD 20kV),適配無塵車間、高精密實驗室等場景。


為什么選擇LTCR1500N?

無錫泓川科技以 “納米檢測,智造未來” 為核心理念,LTCR1500N通過 “側向出光×納米精度×AI智能”三維革新,成為微孔檢測領域的 技術標gan。其以 軍工級密封工藝半導體級穩定性,為高duan制造、生命科學、科研機構提供 “零盲區”測量保障,助力客戶實現 工藝極限突破產品ling缺陷交付

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關鍵詞:光譜共焦傳感器、側向出光、納米級檢測、微孔測量、半導體封裝

 

 

 

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